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  • 什么時候使用主動隔振系統(tǒng)?哪種方法更適合您的應(yīng)用程序?(第一部分)

    2021-05-07 什么時候使用主動隔振系統(tǒng)?哪種方法更適合您的應(yīng)用程序?(第一部分)主動系統(tǒng)隔振本章節(jié)將幫助工程師和科學(xué)家對主動隔振系統(tǒng)有一個大致的了解,它們是如何工作的,什么時候應(yīng)該應(yīng)用,以及它們有什么限制。由于半導(dǎo)體制造業(yè)在這一領(lǐng)域出現(xiàn)了許多應(yīng)用,因此得到了特別的關(guān)注。5.1歷史反饋控制系統(tǒng)已經(jīng)存在了幾百年,但是在20世紀有了最大的發(fā)展。在第二次世界大戰(zhàn)期間,這項技術(shù)被用于防御系統(tǒng),取得了非常迅速的進展。這些發(fā)展還在繼續(xù),甚至在今天,大多數(shù)關(guān)于控制系統(tǒng)的文本都以戰(zhàn)斗機控制和倒彈制導(dǎo)系統(tǒng)為例...
  • 如何克服因地面振動影響光刻系統(tǒng)的圖案質(zhì)量?

    2021-02-05 如何克服因地面振動影響光刻系統(tǒng)的圖案質(zhì)量?振動對高級浸沒式光刻的影響沒有使用STACIS®在原基座的彈性體或剛性版本上獲得jia模式使用STACIS®STACIS主動隔振實現(xiàn)的模式所示的45納米線寬測試圖形是由AmphibianSystems公司生產(chǎn)的*浸入式光刻系統(tǒng)生產(chǎn)的,安裝在德克薩斯州*的SEMATECH公司。圖像之間的差異是由于地震振動對光刻過程的影響。所顯示的圖像是使用掃描電子顯微鏡獲得的。該工具初安裝在鋼和混凝土基座上,基座采用鋼支撐結(jié)構(gòu),其中包含...
  • 【是心動的感覺】-新品Cleanbench-AKTIV

    2021-01-18 【是心動的感覺】-新品Cleanbench-AKTIV主動壓電隔振與氣浮隔振的完美結(jié)合:CleanBenchAktiv™實驗臺是TMC在高性能地面振動控制方面的新突破。它將TMC的Everstill主動消振技術(shù)與MaxDamp氣浮隔振器相結(jié)合。Everstill可從0.5至0.7Hz開始提供出色的低頻消振性能,而MaxDamp可提供高頻率的較好隔振性能補充。比氣浮性能改善高達40倍:這種串聯(lián)式的組合結(jié)構(gòu),使我們的CleanBenchAktiv在特別關(guān)鍵的1-3Hz...
  • 主動壓電隔振與氣浮隔振的結(jié)合Cleanbench-AKTIV

    2021-01-18 新品Cleanbench-AKTIV主動壓電隔振與氣浮隔振的結(jié)合:CleanBenchAktiv™實驗臺是TMC在高性能地面振動控制方面的新突破。它將TMC的Everstill主動消振技術(shù)與MaxDamp氣浮隔振器相結(jié)合。Everstill可從0.5至0.7Hz開始提供出色的低頻消振性能,而MaxDamp可提供高頻率的較好隔振性能補充。比氣浮性能改善高達40倍:這種串聯(lián)式的組合結(jié)構(gòu),使我們的CleanBenchAktiv在特別關(guān)鍵的1-3Hz頻率內(nèi)性能提升明顯:提...
  • 主動壓電隔振與氣浮隔振的完美結(jié)合

    2021-01-18 【是心動的感覺】-新品Cleanbench-AKTIV主動壓電隔振與氣浮隔振的完美結(jié)合:CleanBenchAktiv™實驗臺是TMC在高性能地面振動控制方面的新突破。它將TMC的Everstill主動消振技術(shù)與MaxDamp氣浮隔振器相結(jié)合。Everstill可從0.5至0.7Hz開始提供出色的低頻消振性能,而MaxDamp可提供高頻率的較好隔振性能補充。比氣浮性能改善高達40倍:這種串聯(lián)式的組合結(jié)構(gòu),使我們的CleanBenchAktiv在特別關(guān)鍵的1-3Hz...
  • Crystalaser激光器在流式細胞學(xué)中的重要角色

    2021-01-14 激光器在流式細胞學(xué)中的重要角色醫(yī)學(xué)中所說的流式細胞學(xué)(FlowCytometry,FCM)是對被熒光色素染色的單細胞或微粒,在激光照射高速流動狀態(tài)下,對其進行快速、準確地定性或定量檢測的一種現(xiàn)代細胞分析和分選技術(shù)。其中流式細胞儀是集光學(xué)、流體力學(xué)、電子學(xué)、機械制造及自動化、抗體和熒光標記技術(shù)、計算機與軟件工程等多種技術(shù)為一體的高通量、多參數(shù)分析與分選儀器。同傳統(tǒng)的熒光顯微鏡相比,流式細胞儀具有速度快、精度高、準確性好等特點。流式細胞學(xué)在醫(yī)學(xué)臨床方面的主要應(yīng)用:(1)腫瘤學(xué)中的...
  • Vescent D2-125激光伺服器在生物領(lǐng)域的應(yīng)用典型案例

    2021-01-08 VescentD2-125激光伺服器在生物領(lǐng)域的應(yīng)用典型案例科羅拉多州立大學(xué)(ColoradoStateUniversity,CSU),DavidWinters博士借助VescentD2-125激光伺服器在單像素成像的生物領(lǐng)域獲得了很大的進展。針對單像素成像的生物領(lǐng)域,DavidWinters博士討論了新的單像素成像方法(SPIFI方法),其根本原理是通過基于激光計量和頻率的合成理念,測量小位移的中心頻率的光脈沖,類似脈沖受激拉曼散射,使得脈沖在探測瞬態(tài)光學(xué)磁化率時獲得位移。...
  • 關(guān)于微振動的評估和測量,你了解多少?

    2020-12-18 關(guān)于微振動的評估和測量,你了解多少?︳振動準則(VC)曲線:振動等級評估標準如何評價實驗室是否達到實驗/應(yīng)用的微震需求?如何判定實驗設(shè)備需要/不需要進行隔振處理?今天我們來分享一種評判環(huán)境振動程度的評估準則:VibrationCriterion(VC)Curves——振動準則(VC)曲線。VC(振動準則)曲線是在20世紀80年代早期由EricUngar和ColinGordon提出的。它們初是為了半導(dǎo)體,醫(yī)療和生物制藥行業(yè)的振動敏感設(shè)備的通用振動標準而開發(fā)的,經(jīng)過這么多年的擴展...
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